Die Projektgruppe „ Aktive Materialien “ ist auch auf diesem Gebiet tätig.
Ein weiteres Verfahren zur Herstellung dünner piezoelektrischer Schichten ist die physikalische Gasphasenabscheidung von Zinkoxid Schichten, auch Sputtern genannt.
Zinkoxid weist deutlich niedrigere piezoelektrische Kennwerte als PZT auf, aber durch das Sputtern kann Zinkoxid leicht in mikrosystemtechnische Verfahrenstechniken integriert werden.
www.ibmt.fraunhofer.deThe project group “ Active Materials ” is also working in this field of technical development.
A further method to produce thin piezoelectric layers is the physical vapour deposition of thin zinc oxide layers.
This material has significant lower piezoelectric specifications than PZT, but it can be integrated in micro systemic processes with physical vapour deposition.
www.ibmt.fraunhofer.deWidok | Abscheidung von Si-hältigen Kohlenstoffschichten mittels plasmaunterstützter chemsicher Gasphasenabscheidung
FH Oberösterreich
research.fh-ooe.atWidok | Deposition of amophous Si-doped carbon layers via plasma-enhanced chemical vapor deposition
FH Oberösterreich
research.fh-ooe.atPublikation
Abscheidung von Si-hältigen Kohlenstoffschichten mittels plasmaunterstützter chemsicher Gasphasenabscheidung
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Deposition of amophous Si-doped carbon layers via plasma-enhanced chemical vapor deposition
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