15 μm werden durch Laserablation im Maskenprojektionsverfahren mit Excimer-Lasern erstellt.
Die Excimer-Technologie ersetzt die komplexe Fotolithografie und garantiert vor allem beim Rolle-zu-Rolle-Prozess höchste Produktivität.
Strukturierung dünner Schichten
www.lasermicronics.de15 μm are created by laser ablation in the mask projection process with excimer lasers.
Excimer technology replaces complex photolithography and above all guarantees the highest productivity with the reel-to-reel process.
Structuring of thin layers
www.lasermicronics.deVollintegriertes Gebäude- und Facility-Management und -Steuerungssystem
Moderne Prozessanlagen führender Anlagenausrüster in den Bereichen Fotolithografie, Ätzen, Reinigung, Messtechnik, Abscheidung, Hochtemperatur sowie CMP
Wertschöpfungskette umfasst auch Wafer-Test (parametrisch und optisch) sowie Aufbau- und Verbindungstechnologien (z.B. Bonden und Vereinzeln)
www.ipms.fraunhofer.deFully integrated building and facility management and control system
Modern process plant featuring equipment from leading suppliers in the areas of photolithography, etching, cleaning, metrology, deposition, thermal processing, and CMP
Value chain also includes wafer-level test (parametric and optical) as well as assembly and packaging technologies (e.g., bonding and separation)
www.ipms.fraunhofer.deHierfür wird eine 200 nm dicke Leiterbahn aus Gold auf einer 8 µm dicken Membran aus Polyimid eingesetzt.
Die Strukturierung des Goldes erfolgt durch eine einfache und damit kostengünstige Fotolithografie.
www.kemikro.rwth-aachen.deTherefore, a conductor path from gold, 200 nm in thickness, is sputtered onto a 8 µm thick carrier membrane from polyimide.
The gold is patterned by a simple and thus low-cost photolithography.
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